Hvað gerir sturtuhausinn í PECVD?

0020-30797 Sturtuhaus með rifgötuðum plötu

0021-35869 STURTUHÚÐ

 

Hvað gerir sturtuhausinn í PECVD ferlinu?

Eins og sýnt er á myndinni hér að ofan passar sturtuhaus, einnig þýtt sem úðahaus, sturtuhaus, osfrv. á yfirborði þess. Auðvitað er það ekki aðeins hlutverk gasdreifingar, sumt er hannað til að nota sem hluti af rafskautinu.
Virkni af Sturtuhaus?

Yfirborð sturtuhaussins er þakið þéttum svitaholum og eftir að hvarfgasið streymir inn er því skipt jafnt í nokkra hluta og flutt ofan á skífuna með jöfnum flæðishraða, þannig að hvarfgasið þekur jafnt yfir allt flöt yfirborð til að framleiða einsleitari húðun. Þegar sturtuhausinn er hluti af rafskautinu myndar RF aflgjafinn samræmt rafsvið á yfirborði þess, sem getur myndað einsleitt plasma.

Hvaða málmur er almennt notaður til að búa til sturtuhaus?

Algengasta er ál, sem hefur mikla hitaleiðni og tæringarþol. Einnig er hægt að nota kvars eða keramik til að búa til sturtuhaus.