Hálfleiðaraþekkingarskýring: PVD þekking 30 spurningar

01

Hvað er Target?

Svar: Í PVD er skotmarkið málmefni sem er notað til að mynda filmu.

02

Hver er meginreglan um PVD ferli?

Svar: Til viðbótar við mikla mögulega muninn á skotmarkinu og skífunni, er ferligasið Ar aðskilið í Ar undir hástigsmuninum, og þá dregur Ar jákvætt að rafsviðinu og rekst á markið, þannig að málmkorn sem myndast af markinu falla að oblátunni til að mynda filmu vegna þyngdaraflsins, þetta ferli er PVD

.

03

Hvað er efni almennra málmvíra í hálfleiðurum?

Svar: Volframvír (W) / álvír (Al) / koparvír(Cu).

04

Hvers konar málmfilmur er hægt að fá í PVD?

Svar: Ál (AL), títan (Ti), títanítríð (TiN), kóbalt (Co). Almennt, þegar obláta fer inn í PVD vélina, verður það að vera húðað með títan / títan nítríði / ál / títan / títan nítríði. Fimm laga málmur, kóbalt virkar sem kísilefni.

05

Hvert er hlutverk títan (Ti)?

Svar: Dragðu úr snertiþoli málms.

06

Hvert er hlutverk títanítríðs (TiN)?

Svar: (1) Sem dreifingarhindrunarlag hindrar það dreifingu milli áls og kísiloxíðs. (2) Sem límlag festast wolfram og kísiloxíð ekki vel og að bæta við títanítríði á milli þeirra getur aukið viðloðunina við hvert annað. (3) Sem ARC-lag þarf endurskinslag til að draga úr hárri endurspeglun frá áli til að ná háum upplausn í örmyndaferlinu.TIN hólfer ílátið þar sem ferlið á sér stað.

07

Eftir að hólfið er í biðstöðu í nokkurn tíma, hvers vegna þarftu að gera Dummy?

Svar: Eftir að hólfið er í biðstöðu í nokkurn tíma breytist ástand hólfsins (tæmi, hitastig) lítillega. Ef þú gerir ekki dummy, verða fyrstu stykkin af vörunni fyrir áhrifum. Yfirleitt mótar vinnsluverkfræðingur biðtímareglurnar í samræmi við raunverulegt ástand og síðan setur framleiðsluaðilinn básinn í hólfshúðina (uppskrift þess er svipuð uppskrift vörunnar). Eftir DUMMY mun ástand hólfsins fara aftur í eðlilegt horf, svo þú getur framleitt með hugarró.

08

Af hverju þarf ég að bæta litlu magni af kopar við álmarkið?

Svar: Þegar straumurinn hreyfist í álmálmlaginu munu álutómin hreyfast meðfram kornamótinu, ef þetta fyrirbæri er of skarpt mun það valda því að málmvírinn brotnar, að bæta við litlu magni af kopar getur komið í veg fyrir að álvírinn brotna.

09

Þar sem kopar er bætt við getur komið í veg fyrir álgappa, hvers vegna er þá bara að bæta við 0,5%?

Svar: Of mikið af kopar mun valda ætingarerfiðleikum (koparklóríð er ekki rokgjarnt).

10

Af hverju þarf að kæla PVD skotmörk?

Svar: Forðastu að yfirborðshiti marksins sé of hátt, sem veldur uppgufun fyrirbæri og gerir gæði málmfilmunnar óstöðug.

11

Hvers vegna er nauðsynlegt að stjórna hreinleika vatnsins þegar vélin verður að nota kælivatn?

A: Koma í veg fyrir hölkun eða einangrun.

12

Af hverju þarf að hita vinnslugaslínur?

Svar: Komið í veg fyrir að vinnslugasið þéttist í vökva, sem mun hafa áhrif á ferlið.

13

Hvað er PM? Af hverju þarf verkfæri PM?

Svar: PM er fyrirbyggjandi viðhald og samsvarandi viðhalds- eða skiptiráðstafanir eru gerðar fyrir samsvarandi hluta (varahluti) vélarinnar í samræmi við hringrásina, til að viðhalda stöðugleika í frammistöðu vélarinnar, koma í veg fyrir hnignun á afrakstri vinnslunnar , og lengja endingu vélarinnar og varahluta.

Samkvæmt áætlun má skipta því í mánaðarlegt viðhald, ársfjórðungslegt viðhald og árlegt viðhald.

Samkvæmt fjölda obláta er það til að viðhalda magni.

14

Af hverju þarf verkfræðingur að kæla hitarann ​​í viðeigandi hitastig þegar hann gerir PM?

A: Fyrir öryggi verkfræðinga og véla.

15

Af hverju þarf hólfið að bakast út þegar verkfræðingurinn gerir PM?

A: Til að losa gas, koma í veg fyrir að óhreinar lofttegundir komist inn í kvikmyndina og hafi áhrif á ferlið.

16

Hvaða hlutverki gegna PVD og W-CVD í IC framleiðslu?

A: Ál og wolfram eru málmlög og vírarnir sem tengja tækið og pakkann mynda leið á milli þeirra, þannig að straumurinn geti flætt óhindrað.

17

Hvað er Bake out?

Svar: Þegar verkfræðingur gerir PM, þegar hólfið er opnað, verður innan í hólfinu fyrir andrúmsloftinu og þegar verkfræðingurinn klárar PM þarf hann að baka út, hita hólfið og reka vatnssameindirnar í burtu og aðrar lofttegundir sem eru festar að innan, til að auka lofttæmisstigið.

18

Hvað er gasið sem notað er í PVD ferlinu?

Svar: N2 á móti Ar. 

19

Hver er tilgangur N2 og Ar í PVD ferli?

Svar: Eftir að Ar er jónaður af rafeindum lendir kúlan sem verður skotmarkið á skotmarkið og slær niður frumeindir TARGET á skífunni og tilgangur N2 er að nítríða yfirborðsatóm marksins.

20

Af hverju að nota Ar sem gasgjafa fyrir PVD sputtering?

Svar: (1) Blunt gas, ekki auðvelt að efnabreytingar. (2) Þungur massi (AMU 40), góð skvettaáhrif. (3) Verðið er ódýrt.

21

Hver er ferliþrýstingur PVD?

A: 2~20 mTorr.

22

PVD mælivélaverkefni: Hvers vegna?

A: Endurskinsvísitala, þykkt, viðnámsblað, ögn, einsleitni.

23

Af hverju notar vélin helíum til að greina leka?

Svar: (1) Magn helíums í andrúmsloftinu er mjög lítið, svo forðastu misreikninga. (2) Helium hefur sterka gegndræpi og auðvelt er að greina leka. (3) Helíum er barefli gas, sem er ekki auðvelt að valda mengun eða tæringu.

24.Í PVD ferlinu, hvers vegna þarf ég að fjarlægja upprunalega oxíðlagið fyrir húðun?

A: Upprunalega oxíðlagið er fjarlægt fyrirfram þannig að viðnám milli málmlaganna sé ekki of stórt og viðloðunin milli filmunnar og undirlagsins aukist.

25. Af hverju notar PVD DC rafmagn?

Svar: Með því að nota DC afl, ásamt ákveðnu magni af argon (Ar gasi), myndast plasma (plasma) í lofttæmishólfinu. Jónirnar í jónamálminum lenda í skotmarkinu, slá atóm marksins niður á oblátuna og mynda málmfilmu.

26.Af hverju þurfa vélar að nota kælivatn?

Svar: Stjórnaðu hitastigi til að koma í veg fyrir að hitastigið verði of hátt og valdi skemmdum á vélinni.

27.Hvað er Process Kit?

Svar: Skjöld er mynduð inni í hólfinu og húðunin getur komið í veg fyrir að húðin sé húðuð inni í hólfinu og hægt er að fjarlægja hana til að þrífa eða skipta um í hvert skipti sem það er PM.0020-40946 KLEMMUHRINGUR, 8" SNNF, AL,0020-27113 KLEMMUHRINGUR 6 SMF TI,0020-24896 HÚÐURHRINGUR 6" SST 101 AL,0020-28205 6" TI HÚÐURHRINGUR,0021-35946 Kanthringur, TXZ, 200MM, SNNFeru allir málmhlutar vinnslusetta.0200-00221 einangrunarkvarts, 8'og0200-00218 Cover Top Quartz 8" PCIIeru kvarshlutar í vinnslusettum.

28.Hvers vegna ætti gróft lofttæmisdælan að nota þurra gerð í stað olíutegundar?

Svar: Komið í veg fyrir að olía streymi aftur í vélina.

29

Hversu margar tómarúmdælur eru notaðar fyrir PVD?

A: Grófu lofttæmi er dælt úr loftþrýstingi í 5 mTorr fyrir gróft lofttæmi og cryo dælu er dælt úr 5 mTorr í 10E-9 Torr fyrir mikið lofttæmi.

30 Hvernig get ég fengið hát tómarúm í 30PVD ferlinu?

A: Notaðu hátæmisdælu.