Hver er hvarfefnaskiptin í pólýkísilminnkunarofni

Hvað erReactionAtomization afPólýsilíkonRmenntunFurnace

Pólýkísilminnkunarofninn er kjarnabúnaðurinn til framleiðslu á pólýkísils og viðbragðsrofun pólýkísilminnkunarofnsins vísar til varma sprunguhvarfa klórsílans í afoxunarofninum vegna virkni háhita, sem leiðir til fíns kísildufts, sem myndar þoku í gasfasarýminu í ofninum, það er svokallað atomization fyrirbæri. Ef ekki er hakað við getur þessi úðun leitt til óreglulegra agna eða innri millilaga á yfirborði pólýkísilstanga, sem hefur áhrif á gæði vörunnar.

Eftir að atomization fyrirbærið á sér stað, eru venjulega breytubreytingar:

· Hitastig minnkandi útblásturslofts hækkar hratt;

· Minnkunarspenna lækkar hratt;

· Kraftur minnkunarviðbragðsins minnkar einnig hratt

· Hitastig ofnvatnsskilvatnsins hækkar.

Það eru margar ástæður fyrir atomization í pólýkísilminnkunarofninum, þar á meðal en ekki takmarkað við háan yfirborðshita polysilikonstangarinnar í afoxunarofninum, ófullnægjandi vetnisflæði hráefna, ófullnægjandi heildarflæði hráefna eða óviðeigandi innihald kísildíklóríðs. Aðgerðir sem hægt er að grípa til til að stjórna atomization eru meðal annars að lækka yfirborðshita stangarinnar, auka vetnisflæðið, auka heildarrennsli hráefnisins eða stjórna innihaldi díklórdíhýdrógensílans.

Heildarflæðishraði efnisins er ófullnægjandi eða innihald díklórdíhýdrógenskísils er óviðeigandi. Aðgerðir sem hægt er að grípa til til að stjórna atomization eru meðal annars að lækka yfirborðshita stanganna, auka vetnisflæðið, auka heildarrennsli hráefnisins eða stjórna innihaldi díklóríhýdrogensílans.

Að auki, með dýpkun rannsókna á ákjósanlegri stjórn á afoxunarofninum, kemur í ljós að afoxunarofninn getur haft þau áhrif að draga úr orkunotkun við mismunandi úðunarástand. Til að ná ákveðnu stigi atomization mörkum kortabrún aðgerð, sem getur ekki aðeins dregið úr orkunotkun, heldur einnig tryggt vörugæði. Hins vegar, vegna skorts á skilvirkum uppgötvunaraðferðum fyrir atomization gráðu, er erfitt að ná viðunandi árangri með núverandi stjórnunaraðferðum.

Til þess að leysa þetta vandamál hefur verið lagt til kerfi og aðferð til að greina efnaskiptingu pólýkísilminnkunarhvarfa, þar á meðal útblástursgreiningartæki og miðstýringu. Með því að greina breytingu á innihaldi kísilgufs í útblástursloftinu, fylgist kerfið með stafrænum hætti hve miklu leyti atomization í ofninum er í rauntíma og rekstraraðili getur stillt breytur afoxunarofnsins í tíma í samræmi við niðurstöður uppgötvunar til að ná hámarksstýringu .

Að auki er lögð til aðferð til að greina úðun í pólýkísilminnkunarofni, sem mælir rykþéttnigildi með því að setja rykskynjara á útblástursleiðslu útblástursloftsins, og reiknar út svið og dreifni til að dæma um hversu mikið úðun er í ofninum, svo til að leiðbeina rekstraraðilanum að gera breytingar. Notkun þessarar tækni hjálpar til við að bæta eftirlitsgæði afoxunarofnsins, draga úr erfiðleikum við notkun og tryggja gæði pólýkísilafurða.