For lofttæmi færibandið (álagslás) og meginhluti flutningspallinns

Forloftarúmsfæribandið er flutningshólf fyrir andrúmsloftið og lofttæmi, sem er notað til að einangra hvarfhólfið frá beinni snertingu við ytra andrúmsloftið, til að tryggja hreinleika hvarfhólfsins og draga úr líkum á mengun hvarfsins. hólf. Þegar framhliðareiningin þarf að taka upp og setja skífuna á fortæmdarfæribandið þarf að fylla hana með köfnunarefni, loftþrýstingur í holrúminu er stilltur að andrúmsloftinu og síðan flutningsventill for - tómarúmsfæribandið á hlið framendaeiningarinnar er opnað til að velja og setja oblátuna; Þegar þú tekur upp og settar oblátur úr flutningshólfinu (hluti flutningspallinns) yfir á fortæmisflutningshlutann, er nauðsynlegt að nota lofttæmisdælu til að dæla út gasinu í fortæmisflutningshlutanum, stilla að lofttæminu. ástandi, og opnaðu síðan flutningsventilinn hinum megin við fortæmisflutningshlutann og framkvæmdu síðan obláturtínsluna.

Sérstök skref fyrir oblátuna sem á að flytja í flutningskerfinu eru sem hér segir: allar hurðir eru lokaðar→ oblátuhleðsluport er opnuð, hurðin á oblátu snældunni er opnuð→ andrúmsloftsstjórnunartækið grípur oblátuna úr oblátabátnum á snældunni → diskurinn er settur á aligner→ oblátastaðan er kvörðuð→ köfnunarefnisgasi er fyllt í LoadLockA→ hurðin á LoadLockA er opnuð→ andrúmsloftið setur oblátuna í LoadLockA→ lokar hurðinni á LoadLockA→ LoadLockA ryksugar → opnar hurðina á hvarfhólfinu → Tómi stjórnandinn setur oblátuna inn í hvarfhólfið→ hvarfið á sér stað→ eftir að hvarfinu er lokið, er hvarfhólfið ryksugað→ hurðin á flutningshólfinu er opnuð→ tómarúmstækið færir oblátuna í flutningshólfið→ lokar hurðinni á viðbragðshólfinu→ opnar hurðina á LoadLockB, → tómarúmstækið færir oblátuna í LoadLockB→ lokar hurðinni á LoadLockB→ LoadLockB er fyllt af köfnunarefni → opnar hurðina á LoadLockB→ andrúmsloftsstjórnun færir oblátuna út úr LoadLockB → lokar LoadLockB